|
Вы бы еще про выращивание кристаллов по методу Чохральского рассказали. При чем тут осаждение эпитаксиальных пленок, если речь шла о пайке?
|
мне кажется что данный прибор используется для изготовления интегральных схем,(см примечания к гр.84,85), данное класс.решение привел только для того чтоб показать принцип работы аналогичного устройства (используемого в более узкой сфере)