|
Все-таки есть у меня ощущение некоторой притянутости за уши формулировки в 8486, как бы исключающей прибор для экспонирования фоторезиста из данной позиции.
...
|
Ну, скорее всего так и есть. Эта тов.позиция появилась в 2007-м, и, видимо, специально для оборудования, используемого "... исключительно или в основном для производства полупроводниковых булей или пластин, полупроводниковых приборов, электронных интегральных схем или плоских дисплейных панелей...".
Тут уж ничего не поделаешь - текст таков, каков есть...