[Чучмек]

Не нужно выделять кавычками того, чего нет в оригинале. Нет там никаких микросхем. Там п/п приборы и интегральные схемы. Кроме того, никто и нигде не режет пластину на мелкие кусочки и лишь потом формирует на них топографию. Все наоборот. Сначала на большой пластине, с диаметром в сотню мм и более формируется рисунок на фоторезисте, остатки фоторезиста смываются также с большой пластины и формирование отдельных интегральных схем происходит так же на большой пластине. И только потом ее разделяют на отдельные элементы. Это факт.
Кроме того, разрешающая способность приборов для экспонирования зависит от целей, а не от того, что Вы пишите слово "микросхема".

Я Вас умоляю, не надо мне читать лекций на тему "технология полупроводниковых приборов". Это моя первая и единственная специальность по диплому...