|
"В современных ионно-геттерных насосах обычно совмещены геттерные и ионные методы откачки. Принцип действия ионно-геттерных насосов основан на поглощении газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшении откачки инертных газов и углеводородов за счет ионизации и улавливания положительных ионов отрицательно заряженными элементами насоса."
в пояснение к 8414 указанно что геттерные насосы включаются в эту группу.
Согласен с кодом ТС.
|
У Марины не ионно-геттерный насос, а сублимационный.