|
Ничего он не измеряет, он позиционирует только
|
Система позиционирования образца в плоскости XY основана на пьезоманипуляторах со встроенными емкостными датчиками.
Емкостные датчики измеряют с разрешением субнанометра без контакта. Они гарантируют превосходную линейность движения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц. Максимальная точность благодаря прямому измерению положения.
Движение измеряется непосредственно на платформе движения без какого-либо влияния со стороны привода или направляющих элементов.