|
Система позиционирования образца в плоскости XY основана на пьезоманипуляторах со встроенными емкостными датчиками. Емкостные датчики измеряют с разрешением субнанометра без контакта. Они гарантируют превосходную линейность движения, долговременную стабильность и полосу пропускания в диапазоне кГц. Максимальная точность благодаря прямому измерению положения. Движение измеряется непосредственно на платформе движения без какого-либо влияния со стороны привода или направляющих элементов.
|
измеряет эта штука только для самой себя, чтоб в правильное место некий объект переместить с наноточностю.
Поэтому я за 8428909000.