КОД Электрохимический CV-профилометр

[XELA76]

Вот задачка - так задачка
http://www.rusnanonet.ru/equipment/nm_ecvpro/
Коллеги, кто за что
у меня пока три варианта.
9027801300
9030820000
И наконец страшный - военный
9031803200 -чисто по наименованию прибора, но он по-сути "профилометр", тех. характеристик подробных нет про "5 нано", но сам сайт смущает сразу "rusnannonet"

11. Принцип работы: Образец помещается в камеру, прижимается уплотнительным кольцом электрохимической ячейки. В ячейку поступает электролит. Площадь контакта электролит/полупроводник ограничивается площадью уплотнительного кольца. Далее происходят циклические операции электрохимического травления и вольт-фарадных измерений. Т.е. на образец через электроды электрохимической ячейки подается внешнее смещение, за счет барьера Шоттки на границе полупроводник/электролит образуется область объемного заряда, емкость которой и измеряется (на переменном тестовом сигнале). Емкость пересчитывается в концентрацию основных носителей заряда. Далее при приложении противоположного по знаку напряжения происходит операция травления на заданную глубину и процесс измерений повторяется. Таким образом измеряется профиль распределения основных носителей заряда по глубине образца.
12. Сфера применения
Применяется в цикле исследования полупроводниковых структур микроэлектронной промышленности.

[Тибет]

9030 89 нравицца.

[XELA76]

9030 89 нравицца.

ну мой-то вариант солиднее?
9030820000 для измерений или проверки полупроводниковых пластин или приборов

[Тибет]

ну мой-то вариант солиднее?
9030820000 для измерений или проверки полупроводниковых пластин или приборов

Если так, то да.

[XELA76]

9030820000
ну и серта не надо жеж?

[Тибет]

9030820000
ну и серта не надо жеж?

Вези с богом.

[Чучмек]

Вези с богом.

Это - не 9030. Он не "измеряет" электрические величины. Он показывает "правильность легирования".

Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECVPro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.

Это - 9031803200.

[Тибет]

Это - не 9030. Он не "измеряет" электрические величины. Он показывает "правильность легирования".

Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECVPro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.

Это - 9031803200.

Методику бы раскрыть попросторнее.

[Boggart]

Это - не 9030. Он не "измеряет" электрические величины. Он показывает "правильность легирования".

Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECVPro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.

Это - 9031803200.

А какую именно характеристику и в чем (в каких единицах) показывает приборчик?

P.S.: Тьху. Что это тебя-то спросил..? Но если знаешь - к ответу

[XELA76]

Это - не 9030. Он не "измеряет" электрические величины. Он показывает "правильность легирования".

Используя режим измерения параметров обедненного слоя и высокую воспроизводимость площади контакта, ECVPro способен точно измерить изменения уровня легирования по поверхности пластины.

Это - 9031803200.

А это как же? Далее происходят циклические операции электрохимического травления и вольт-фарадных измерений. Т.е. на образец через электроды электрохимической ячейки подается внешнее смещение, за счет барьера Шоттки на границе полу-проводник/электролит образуется область объемного заряда, емкость которой и измеряется (на переменном тестовом сигнале)