КОД Электрохимический CV-профилометр

[XELA76]

Вот задачка - так задачка
http://www.rusnanonet.ru/equipment/nm_ecvpro/
Коллеги, кто за что
у меня пока три варианта.
9027801300
9030820000
И наконец страшный - военный
9031803200 -чисто по наименованию прибора, но он по-сути "профилометр", тех. характеристик подробных нет про "5 нано", но сам сайт смущает сразу "rusnannonet"

11. Принцип работы: Образец помещается в камеру, прижимается уплотнительным кольцом электрохимической ячейки. В ячейку поступает электролит. Площадь контакта электролит/полупроводник ограничивается площадью уплотнительного кольца. Далее происходят циклические операции электрохимического травления и вольт-фарадных измерений. Т.е. на образец через электроды электрохимической ячейки подается внешнее смещение, за счет барьера Шоттки на границе полупроводник/электролит образуется область объемного заряда, емкость которой и измеряется (на переменном тестовом сигнале). Емкость пересчитывается в концентрацию основных носителей заряда. Далее при приложении противоположного по знаку напряжения происходит операция травления на заданную глубину и процесс измерений повторяется. Таким образом измеряется профиль распределения основных носителей заряда по глубине образца.
12. Сфера применения
Применяется в цикле исследования полупроводниковых структур микроэлектронной промышленности.