|
... Причем эта подложка, вообще говоря, может быть использована в дальнейшем производстве и печатных схем и интегральных схем и производства полупроводниковых приборов.
...
|
нет, не может. "подложка", рисунок на которой формирует аппарат, описанный Боггартом, годится только на "печатные схемы". "микросхему" на нём не сформируешь - и разрешение слишком маленькое, и размер рабочего поля слишком большой, и экспонирование - "напрямую" (в масштабе 1:1), и вакуумирование "вторичное" - только после включения аппарата - а значит, только для прижима "фотошаблона" к "плате".
Для экспонирования "микросхемы" этот аппарат совершенно непригоден из-за этого.
Прежде всего потому, что "микросхема" - это в основном квадратик размером 5х5мм, а фотошаблон для её экспонирования - пластиковый лист размером порядка 1х1м (потому что физически невозможно напечатать разводку под микросхему на квадратике 5х5мм. Шаблоны печатают на "обычных" принтерах, на плёнке прозрачной). Нужно масштабирование изображения - а его в этом аппарате нет. Экспонируют, конечно, не отдельный "чип", а группу на пластине - все сразу; шаблон просто "мультиплицированный", засвечивается вся пластина - формируется сразу "стотыщ" чипов за одну операцию.
Во-вторых, экспонирование пластины под "микросхему" (как и весь процесс формирования микросхемы от начала до конца) происходит в "глубоком вакууме" - вся линия производства от сырья до готовых микросхем (ну, или дискретных приборов, неважно) вакуумирована. Нет там никакой возможности "включить вакуум - выключить вакуум" до/после экспонирования. Иначе вся продукция на смарку пойдёт.
К чему это я? К тому, что обсуждаемый аппаратик Боггарта для производства "полупроводниковых приборов или микросхем" ни исключительно, ни "в основном" не пригоден. Т.е. не соответствует тексту тов.позиции 8486.