Помогите с кодом оборудования

Чучмек · 13.04.2015, 15:26 #1

Цитата ( NCLogistic » )

... Причем эта подложка, вообще говоря, может быть использована в дальнейшем производстве и печатных схем и интегральных схем и производства полупроводниковых приборов.
...

нет, не может. "подложка", рисунок на которой формирует аппарат, описанный Боггартом, годится только на "печатные схемы". "микросхему" на нём не сформируешь - и разрешение слишком маленькое, и размер рабочего поля слишком большой, и экспонирование - "напрямую" (в масштабе 1:1), и вакуумирование "вторичное" - только после включения аппарата - а значит, только для прижима "фотошаблона" к "плате".

Для экспонирования "микросхемы" этот аппарат совершенно непригоден из-за этого.
Прежде всего потому, что "микросхема" - это в основном квадратик размером 5х5мм, а фотошаблон для её экспонирования - пластиковый лист размером порядка 1х1м (потому что физически невозможно напечатать разводку под микросхему на квадратике 5х5мм. Шаблоны печатают на "обычных" принтерах, на плёнке прозрачной). Нужно масштабирование изображения - а его в этом аппарате нет. Экспонируют, конечно, не отдельный "чип", а группу на пластине - все сразу; шаблон просто "мультиплицированный", засвечивается вся пластина - формируется сразу "стотыщ" чипов за одну операцию.
Во-вторых, экспонирование пластины под "микросхему" (как и весь процесс формирования микросхемы от начала до конца) происходит в "глубоком вакууме" - вся линия производства от сырья до готовых микросхем (ну, или дискретных приборов, неважно) вакуумирована. Нет там никакой возможности "включить вакуум - выключить вакуум" до/после экспонирования. Иначе вся продукция на смарку пойдёт.

К чему это я? К тому, что обсуждаемый аппаратик Боггарта для производства "полупроводниковых приборов или микросхем" ни исключительно, ни "в основном" не пригоден. Т.е. не соответствует тексту тов.позиции 8486.

NCLogistic · 13.04.2015, 16:05 #2

Цитата ( Чучмек » )

К чему это я? К тому, что обсуждаемый аппаратик Боггарта для производства "полупроводниковых приборов или микросхем" ни исключительно, ни "в основном" не пригоден. Т.е. не соответствует тексту тов.позиции 8486.

Не нужно выделять кавычками того, чего нет в оригинале. Нет там никаких микросхем. Там п/п приборы и интегральные схемы. Кроме того, никто и нигде не режет пластину на мелкие кусочки и лишь потом формирует на них топографию. Все наоборот. Сначала на большой пластине, с диаметром в сотню мм и более формируется рисунок на фоторезисте, остатки фоторезиста смываются также с большой пластины и формирование отдельных интегральных схем происходит так же на большой пластине. И только потом ее разделяют на отдельные элементы. Это факт.
Кроме того, разрешающая способность приборов для экспонирования зависит от целей, а не от того, что Вы пишите слово "микросхема".

Чучмек · 13.04.2015, 16:12 #3

Цитата ( NCLogistic » )

Не нужно выделять кавычками того, чего нет в оригинале. Нет там никаких микросхем. Там п/п приборы и интегральные схемы. Кроме того, никто и нигде не режет пластину на мелкие кусочки и лишь потом формирует на них топографию. Все наоборот. Сначала на большой пластине, с диаметром в сотню мм и более формируется рисунок на фоторезисте, остатки фоторезиста смываются также с большой пластины и формирование отдельных интегральных схем происходит так же на большой пластине. И только потом ее разделяют на отдельные элементы. Это факт.
Кроме того, разрешающая способность приборов для экспонирования зависит от целей, а не от того, что Вы пишите слово "микросхема".

Я Вас умоляю, не надо мне читать лекций на тему "технология полупроводниковых приборов". Это моя первая и единственная специальность по диплому...

Boggart · 13.04.2015, 16:16 #4

Цитата ( Чучмек » )

Я Вас умоляю, не надо мне читать лекций на тему "технология полупроводниковых приборов". Это моя первая и единственная специальность по диплому...

(То есть пить мне одному. Ладно)

Чучмек · 13.04.2015, 16:17 #5

Цитата ( Boggart » )

(То есть пить мне одному. Ладно)

Не-не-не! Што ты, што ты!!

NCLogistic · 13.04.2015, 16:44 #6

Цитата ( Чучмек » )

Я Вас умоляю, не надо мне читать лекций на тему "технология полупроводниковых приборов". Это моя первая и единственная специальность по диплому...

Моя первая, но не последняя,- 0567 Космическое и радиационное материаловедение и приборы. Вот так, коллега.

Именно поэтому, я внимательно реагирую на легкий "развод" с Вашей стороны и запутывание словами типа "микросхема". И немного о диаметрах. Методом Чохральского в промышленных объемах на промышленных установках, произведенных в Луганске выращивались монокристаллы кремния до 400 мм. В РФ тоже такие кристаллы выращивали без проблем. Обозначенный Вами 120-ти миллиметровый порог для нашей промышленности преодолен давно. Просто затраты на увеличение диаметра стержня растут не линейно, а геометрически и растить стержни более 150-180 мм не выгодно.

Чучмек · 13.04.2015, 16:48 #7

Цитата ( NCLogistic » )

Моя первая, но не последняя,- 0567 Космическое и радиационное материаловедение и приборы. Вот так, коллега.

Именно поэтому, я внимательно реагирую на легкий "развод" с Вашей стороны и запутывание словами типа "микросхема". И немного о диаметрах. Методом Чохральского в промышленных объемах на промышленных установках, произведенных в Луганске выращивались монокристаллы кремния до 400 мм. В РФ тоже такие кристаллы выращивали без проблем. Обозначенный Вами 120-ти миллиметровый порог для нашей промышленности преодолен давно. Просто затраты на увеличение диаметра стержня растут не линейно, а геометрически и растить стержни более 150-180 мм не выгодно.

та я ж не про экспериментально выращенные, а про промышленные. Они до 120мм доросли и остановились.

Да и вообще вся микроэлектронная промышленность остановилась уже в конце СССР...

Ладно, это в другую тему...

stasiboro · 13.04.2015, 17:06 #8

Цитата ( NCLogistic » )

Моя первая, но не последняя,- 0567 Космическое и радиационное материаловедение и приборы. Вот так, коллега.

Именно поэтому, я внимательно реагирую на легкий "развод" с Вашей стороны и запутывание словами типа "микросхема". И немного о диаметрах. Методом Чохральского в промышленных объемах на промышленных установках, произведенных в Луганске выращивались монокристаллы кремния до 400 мм. В РФ тоже такие кристаллы выращивали без проблем. Обозначенный Вами 120-ти миллиметровый порог для нашей промышленности преодолен давно. Просто затраты на увеличение диаметра стержня растут не линейно, а геометрически и растить стержни более 150-180 мм не выгодно.

Буквально сегодня читал
http://www.3dnews.ru/912310?from=rel...-source=912538

пластины 300 мм диаметром...